多功能洁净清洗台,FFU净化台,定制化洗片台,净化通风橱

FFU净化台模块化风机过滤单元(Fan Filter Unit)系统,搭载H14级HEPA高效过滤器,单机净化效率达99.995%@0.3μm。采用直流无刷电机驱动,噪音值≤55dB,支持多台联机构建洁净室环境。智能压差监测系统可实时显示滤网寿命,适用于半导体制造、PCR实验室等对空气洁净度要求严格的场景。可搭配:单片晶圆甩干机,单片晶圆清洗台,单片晶圆刻蚀机等。

晶圆单片清洗机,晶圆甩干机,单晶炉,多晶炉,区熔炉,,晶片检测强光灯,单片甩干机,梅耶博格内圆锯,晶圆倒角机


FFU净化台

模块化风机过滤单元(Fan Filter Unit)系统,搭载H14级HEPA高效过滤器,单机净化效率达99.995%@0.3μm。采用直流无刷电机驱动,噪音值≤55dB,支持多台联机构建洁净室环境。智能压差监测系统可实时显示滤网寿命,适用于半导体制造、PCR实验室等对空气洁净度要求严格的场景。

可搭配:单片晶圆甩干机,单片晶圆清洗台,单片晶圆刻蚀机等。


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