晶圆制造解决方案之利器 — 中空伺服电机

2025-12-28 23:28:21 csmhk

中空伺服电机

半导体晶圆处理核心驱动解决方案

产品概述

中空轴伺服电机在半导体设备中扮演着至关重要的角色，主要用于晶圆吸附旋转技术，确保晶圆在清洗、涂胶、显影、刻蚀等关键工艺中的精确控制和稳定性。

核心技术

采用不锈钢中空转动轴设计和特殊低发尘润滑脂

核心优势

17bit高分辨率编码器支持，转速可达5000 RPM

应用场景

晶圆清洗

通过精确旋转晶圆确保清洗液均匀覆盖，提升清洗效率和质量

涂胶工艺

精确控制胶液涂布量与均匀性，确保晶圆胶层厚度一致

显影工艺

旋转晶圆使显影液均匀作用，精确显影电路图案

刻蚀工艺

旋转控制确保刻蚀液均匀作用，实现微米级精度的刻蚀效果

方案优势

空间优化

简化机械结构，相比传统皮带轮装置节省30%安装空间

粉尘控制

不锈钢中空轴与特殊润滑脂将粉尘发生量降低70%以上

高速高精度

17bit高分辨率编码器支持最高5000 RPM旋转精度

传统结构 VS 中空结构

结构简化带来的性能优化

                         传统结构                                                        中空结构

规格选型

项目	HZX80M-2430J92D4	HZX130M-2430J92D4	其他定制
额定输出	750W	1500W	可定制
额定电压	220V	220V	可定制
额定扭矩	2.4 N.M	6 N.M	可定制
峰值扭矩	7.2 N.M	18 N.M	可定制
额定转速	3000RPM	2500RPM	可定制
最高转速	5000RPM	3000RPM	可定制
编码器	17bit单圈绝对值	17bit单圈绝对值	可定制
中空直径	⌀20mm	⌀30mm	可定制

80伺服电机结构示意图